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正文 第439章 悬崖上的舞蹈
    江州,地下三层,极光实验室。

    

    这里是全中国最安静的地方。

    

    为了防止震动,地基往下挖了三十米,灌注了整块的钢筋混凝土。甚至连几公里外地铁停运的时间,都要配合这里的实验进度。

    

    巨大的无尘车间里,那台传说中的3纳米光刻机正在进行最后的总装。

    

    它像一座银色的小山,矗立在房间中央。

    

    林远穿着白色的防尘服,只露出一双眼睛,站在控制台前。

    

    “现在进行最关键的一步,”王海冰的声音通过耳机传来,带着明显的紧张,“物镜入座。”

    

    那个由山田光一设计,用“数据欺骗”换来时间、经过无数次打磨才造出来的巨型镜头组重达1.5吨,正被一台高精度的机械吊臂缓缓吊起。

    

    它要被放进光刻机的主框架里。

    

    这个过程,就像是把一头大象放进冰箱,而且大象的皮肤不能碰到冰箱壁哪怕一下。

    

    间隙只有0.5毫米。

    

    “慢点……再慢点……”

    

    负责操作吊臂的是一位在这个行业干了三十年的老技师,他的手稳得像铁钳。

    

    镜头缓缓下降。

    

    还有十厘米。

    

    还有五厘米。

    

    突然。

    

    “滴——!滴——!滴——!”

    

    红色的警报灯毫无征兆地亮起,刺耳的声音在封闭的车间里回荡。

    

    “停!快停!”王海冰大吼。

    

    老技师猛地锁死吊臂,镜头悬在半空,微微晃动。

    

    “怎么回事?”林远冲过去。

    

    “震动超标!”王海冰指着监控屏幕。

    

    屏幕上,一条原本应该是直线的波形图,此刻正在疯狂跳动,像是一条受惊的蛇。

    

    “地面在震动?”林远问。

    

    “不,不是地面。”王海冰脸色惨白,“是减震台。”

    

    光刻机不是直接放在地上的,而是放在一个巨大的“主动减震台”上。这个台子就像汽车的空气悬挂,能把地面的震动过滤掉。

    

    这套减震系统,是以前从欧洲一家顶级公司买的,花了上千万。

    

    “减震台疯了。”王海冰检查着数据,“它不仅没有消除震动,反而……在制造震动!”

    

    “它在自己抖!”

    

    这台光刻机有四条腿减震支柱。

    

    此时,这四条腿像是不听使唤一样,毫无规律地上下乱跳。虽然幅度很小,肉眼看不见,但在纳米级的传感器眼里,这就是一场八级大地震。

    

    如果在这种震动下把镜头放进去,瞬间就会磕碰,价值几亿的镜头就碎了。

    

    “重启系统!”

    

    “没用!重启了三次,还是抖!”

    

    “断网!是不是被黑客攻击了?”

    

    “网线早就拔了!”

    

    王海冰急得满头大汗,拆开了减震器的控制盒。

    

    “林董,你看。”

    

    控制盒里,一颗红色的指示灯在诡异地闪烁。

    

    “这是锁死模式。”

    

    汉斯凑过来看了一眼,叹了口气。

    

    “这是厂家的后门。”

    

    “这种高端设备,都有地理围栏和远程锁死功能。虽然我们拔了网线,但它内部有时钟芯片。”

    

    “只要到了特定的时间,或者长期没连上厂家的服务器进行授权验证,它就会自动进入故障模式。”

    

    “以前我们还能通过代理商买解锁码。”

    

    “但现在……”汉斯苦笑,“欧洲那边肯定收到了警告,代理商失联了。”

    

    林远明白了。

    

    这是敌人的暗雷。

    

    他们知道你造出了镜头,知道你要总装了,所以在这个节骨眼上,引爆了埋在设备里的雷。

    

    没有减震台,光刻机就是个瞎子、瘸子,根本没法工作。

    

    “能破解吗?”林远问。

    

    “很难。”王海冰摇头,“这控制芯片是加密的,强行破解会烧毁电路板。而且我们没有备件,烧了就彻底瘫痪了。”

    

    “买国产的呢?”

    

    “国产的减震台,是用在普通机床上的。精度差了两个数量级。用在光刻机上,就像让刘翔穿拖鞋跑步,根本不行。”

    

    死局。

    

    一台几亿的机器,被四条腿给绊倒了。

    

    林远看着那悬在半空的镜头,又看了看那还在乱抖的减震台。

    

    “既然这洋玩意儿不听话……”

    

    林远眼中闪过一丝狠厉。

    

    “那就把它——锯了!”

    

    “什么?!”在场的所有人都惊呆了。

    

    “锯了这四条腿!”林远指着减震器,“既然它是个祸害,留着干什么?”

    

    “可是……锯了以后,机器放哪?”王海冰急了,“直接放地上?那震动根本没法控制啊!外面过辆卡车,里面的光路就歪了!”

    

    “谁说要放地上了?”

    

    林远转身,拨通了一个电话。

    

    “中车集团做高铁的那家吗?我是林远。”

    

    “我要借你们的人,还有你们的技术。”

    

    “什么技术?”

    

    “磁悬浮。”

    

    十二小时后。

    

    一支穿着蓝色工装的队伍,风尘仆仆地赶到了实验室。领头的是一位搞了一辈子磁悬浮列车的总工程师,老张。

    

    老张看着光刻机,一脸懵。

    

    “林董,您是说,您想把这几十吨重的大家伙,像磁悬浮列车一样,浮起来?”

    

    “对。”林远点头。

    

    “既然液压减震洋设备靠不住,那我们就用磁力。”

    

    “磁悬浮列车能让几十吨的车厢平稳地浮在轨道上,跑出600公里。那让这台机器浮在底座上,不动,应该更简单吧?”

    

    老张挠了挠头。

    

    “原理是一样的。都是利用磁铁同性相斥或者电磁吸力。”

    

    “但是,列车是在一条线上浮,您这个是在一个点上浮。而且,您的精度要求太高了。”

    

    “列车浮动误差几毫米没事,您这个……要求纳米级?”

    

    “对,纳米级。”林远说,“而且要能主动抵消地面的震动。”

    

    “这……”老张有些为难,“我们的控制系统是用来跑车的,没搞过这么精细的微调。”

    

    “控制系统我来搞!”

    

    汪韬站了出来。

    

    “你们负责把磁铁和线圈装上去,负责让它浮起来。”

    

    “我负责写算法,控制电流的大小,让它稳住!”

    

    这就好比:中车负责造“腿”,汪韬负责造“小脑”。

    

    “干!”老张也是个爽快人,“既然洋鬼子卡脖子,那咱们就用修火车的法子,给它治治病!”

    

    接下来的48小时,是一场跨界的疯狂实验。

    

    原本精密的减震器被暴力拆除,扔到了废品堆里。

    

    取而代之的,是四组巨大的、从磁悬浮列车实验室拆下来的超导电磁线圈。

    

    “这也太土了吧……”

    

    看着那些粗大的铜线圈,还有旁边临时搭建的水冷管子,王海冰有点哭笑不得。这画风,跟高大上的光刻机完全不搭。

    

    “土不可怕,管用就行。”林远盯着安装进度。

    

    “通电!”

    

    巨大的电流涌入线圈。

    

    “嗡——”

    

    低沉的磁力轰鸣声响起。

    

    那台重达几十吨的光刻机主框架,竟然真的——缓缓离开了地面!

    

    它悬浮在半空中,就像一座空中楼阁。

    

    “浮起来了!”工人们欢呼。

    

    但问题随之而来。

    

    因为它浮起来了,没有任何接触,所以它像水面上的船一样,开始晃荡。

    

    稍微碰一下,它就晃个不停。

    

    “这不行啊!”老张急了,“这么晃,镜头根本装不进去!”

    

    “看我的。”

    

    汪韬坐在电脑前,十指如飞。

    

    “启动主动阻尼算法!”

    

    他在光刻机的四周,安装了十几个高灵敏度的激光位移传感器。

    

    传感器一旦检测到机器往左晃了0.001毫米。

    

    电脑立刻控制右边的线圈,电流加大一点点,产生一个反向的磁力,把它推回来!

    

    这叫——“以动制动”。

    

    “参数修正……PID增益调大……”

    

    屏幕上,原本波浪一样的晃动曲线,开始慢慢变平。

    

    一分钟后。

    

    那台悬浮在空中的机器,突然定住了。

    

    纹丝不动。

    

    就像被施了定身法。

    

    有人试着伸手推了一下机器,机器就像生了根一样,毫无反应。其实是磁力瞬间反推了回来。

    

    “稳了!”汪韬大喊,“震动幅值:0.01微米!比原来的洋设备还稳十倍!”

    

    “这就是磁悬浮的威力!没有机械接触,就没有摩擦,反应速度无限快!”

    

    老张看着这一幕,竖起了大拇指:“还得是你们搞IT的脑子快。我们搞了一辈子车,也没想到能这么玩。”

    

    地基稳了。

    

    现在,要把那个1.5吨重的镜头,放进去了。

    

    这是最后的一关,也是最惊险的一关。

    

    因为镜头是玻璃做的萤石,框架是金属做的。两者之间的间隙极小。

    

    一旦在放入的过程中,稍微歪一点点,或者手抖一下。

    

    咔嚓。

    

    几个亿就没了。

    

    “吊臂不行。”王海冰看着那台机械吊臂,“它太粗糙了,微动控制不好。刚才就是它差点撞上。”

    

    “那怎么办?人抬?”

    

    “1.5吨,人抬不动。”

    

    林远看着那个悬在半空的镜头,又看了看

    

    “既然底座能浮……”

    

    “为什么镜头不能浮?”

    

    “什么意思?”众人不解。

    

    “我们不用吊臂往下放。”

    

    林远做了一个向上托举的手势。

    

    “我们把镜头放在一个气垫上,让它飘进去。”

    

    “气浮导轨。”

    

    林远指挥大家,在光刻机的安装孔位上,临时搭建了一个滑梯一样的气浮轨道。

    

    利用高压气体,在轨道表面形成一层气膜。

    

    那个巨大的镜头,被放在了气膜上。

    

    摩擦力几乎为零。

    

    只需要一根手指头轻轻一推,那个1.5吨的庞然大物,就顺滑地向前滑动。

    

    “慢点……慢点……”

    

    山田光一那位投诚的日本专家亲自趴在旁边指挥,眼泪都快流下来了。他这辈子没见过这么野路子的装配方法,但不得不承认,这真他妈稳!

    

    镜头顺着气轨,一点一点地滑进了安装孔。

    

    “到位!”

    

    “锁紧!”

    

    螺栓拧紧的声音,在此时听起来简直是天籁。

    

    “安装完成!”

    

    全场掌声雷动。

    

    他们用修火车的技术磁悬浮,加上搬运工的智慧气浮,完成了一次世界级的精密装配。

    

    所有部件归位。

    

    光源SSMB、光路FSM、镜头High-NA、工件台磁悬浮。

    

    “通电自检。”

    

    屏幕上,一个个绿色的“OK”亮起。

    

    “光源注入。”

    

    一道深紫色的光,穿过复杂的透镜组,最终投射在底部的硅片上。

    

    显微镜下。

    

    一条条清晰、锐利的电路图案显现出来。

    

    线宽:5纳米。

    

    虽然离3纳米还有差距,但这已经是目前国产设备的极限,也是世界第二的水平仅次于ASML的EUV。

    

    “我们做到了……”

    

    王海冰瘫坐在地上,浑身湿透。

    

    林远看着那台发出幽幽蓝光的机器,心中并没有太多激动。

    

    他知道,这台机器虽然造出来了,但它是个“缝合怪”。

    

    用了核电站的技术、高铁的技术、化工的技术、甚至土木工程的技术。

    

    它笨重、昂贵、难以维护。

    

    但它有一个最大的优点——它是我们自己的。

    

    每一个螺丝,每一行代码,都是我们自己搞定的。

    

    没人能再关掉它。

    

    “顾盼,”林远走出实验室,摘下口罩,“给那些还在观望的国内芯片厂发个消息。”

    

    “告诉他们,如果不想要美国的许可证,就来找我。”

    

    “我有更便宜、更听话的机器。”

    

    “还有,”林远停下脚步,看向东方,“那个日本特工带回去的假数据,应该已经开始发挥作用了吧?”

    

    “是的。”顾盼坏笑,“情报显示,东和财团刚刚宣布,他们的光刻机项目取得了重大突破,准备投入巨资量产。”

    

    “很好。”

    

    林远嘴角勾起一抹冷笑。

    

    “让他们造。”

    

    “等他们把钱都砸进那个坑里,发现造出来的是一堆废铁的时候……就是我们收网的时候。”
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